高低溫真空探針臺是一種用于電子與通訊技術(shù)范疇的工藝實驗儀器,。

　　高低溫真空探針臺技術(shù)指標：

　　1、六個探針臂接口,，可以裝置六個探針臂。

　　2,、一個CF40真空抽氣口,，一個疾速破真空進氣口。

　　3,、載物Chuck溫度范圍：4K-500K;CF法蘭接口,，零碎極限真空優(yōu)于5*10-6Pa,。

　　4,、漏率優(yōu)于：1.3*10-10Pa.M3/s;探針X-Y-Z三方向挪動,，行程：25.4mm,，定位精度：10μm。

　　5,、雙屏蔽chuck高低溫時到達100FA的測試精度。

　　高低溫真空探針臺主要功能：

　　可以完成樣品在高溫真空環(huán)境的測試,，完成樣品在10-4PA真空度，4.2K到480K恣意溫度點的準確電學測量,，可完成直流和微波(40GHz)的測量。

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